主要特點

• LEGEX 系列是一款超高精度 CNC 三維測量機，擁有高級別的精度，分析并消除了誤差因素。

• 主機底座采用嚴(yán)選材料，采用密封結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)高剛性、高阻尼。此外，使用 FEM 結(jié)構(gòu)分析模擬進行的應(yīng)力分析，以保證幾何運動精度，最大限度地減少由于負載波動引起的變形。此外，我們還引入了多項技術(shù)來實現(xiàn)超高精度，例如驅(qū)動單元的結(jié)構(gòu)和振動對策。

• 用于位置檢測的測量單元配備了超高精度測量單元（內(nèi)部制造），它結(jié)合了熱膨脹系數(shù)≈0的超高精度晶化玻璃標(biāo)尺和高性能反射線性傳感器高分辨率編碼器，具有高的位置檢測能力，可實現(xiàn)超精密的機器控制。

• 超高精度機器的安裝環(huán)境需要溫度控制室，但溫度校正功能使其可以在廣泛的溫度環(huán)境下保證精度。

• 為了支持對各種工件進行簡單且超精密的測量，我們準(zhǔn)備了多種選件，包括探頭（接觸式和非接觸式）和數(shù)據(jù)處理器。